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高效過濾器
凈化設(shè)備
​當前對高效過濾器效率的測試方法

當前對高效過濾器效率的測試方法有:

DOP法,以光度計檢測,不如粒子計數(shù)法靈敏,有關(guān)標準可見美國IEST-RP-CC001;

粒子計數(shù)法,以粒子計數(shù)器作為檢測儀器,使用單分散或多分散氣溶膠,靈敏度高,多用于超高效過濾器,相關(guān)標準可見IEST-RP-CC007;

最易穿透粒徑法(MPPS),采用粒子計數(shù)器作為檢測儀器,使用的氣溶膠同時,此法是歐盟EN1822標準所規(guī)定,與粒子計數(shù)法的區(qū)別是,以過濾器最易穿透的粒徑作為測試用粒徑;

鈉焰法,此法采用火焰光度計,對NaCL燃燒的火焰色度作響應(yīng),相關(guān)標準見我國“高效空氣過濾器GB13554-92“,靈敏度低,且NaCl對微電子產(chǎn)品質(zhì)量有害國外已不用。

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